產(chǎn)品
- RV系列雙級旋片泵
- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
詳情介紹：
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵概述
Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的性和性能。iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
iH1800HTX 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝（如 300 mm LPCVD 氮化物）而設(shè)計。
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵應(yīng)用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請與 Edwards 聯(lián)系。
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護。
懸臂軸和的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 1800 m3h-1 |
| 1060 cfm | |
| 30000 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-3 mbar |
| 7.5 x 10-4 Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO160 |
| 連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 502 kg |
| 極限功率輸入 | 4.1 kW |
| 電機額定功率 | 7.0 kW |
| 油容量 | 1.6 l |
數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
iH1800HTX Edwards半導(dǎo)體干式真空泵訂購信息
iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相 A59042908
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59042945
iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59042946
iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相 A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相 A59062945
