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- E2M系列雙級旋片泵
- nES系列單級旋片泵
- ES系列單級旋片泵
- nXDS系列干式渦旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列噴油螺桿泵
- EH系列羅茨真空泵
- EDS系列干式螺桿泵
- GXS系列干式螺桿泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station渦輪分子泵小車
- STP系列渦輪分子泵
- Stokes滑閥泵
- Stokes 6羅茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列渦輪分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺桿真空泵
- CDX系列化工螺桿真空泵
- HT系列油蒸汽擴散泵
- iH系列半導(dǎo)體真空干泵
- iXH系列半導(dǎo)體真空泵
- iXL系列半導(dǎo)體真空干泵
- EPX系列半導(dǎo)體真空干泵
- GX系列半導(dǎo)體干式泵
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。 效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設(shè)計允許用戶對 GX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。 緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
應(yīng)用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
金屬腐蝕
植入源
功能和優(yōu)勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本多可降低 50%
無需預(yù)防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的快的負載鎖定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
參數(shù)
績效
峰值速度
800 m3h-1
471 ft3min-1
13333 lmin-1
極限壓力
1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.10 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
功率
1.6 kW
AUC（有源設(shè)備控制器）
1.05 kW
水
水入口
2 slm
氮氣
4 或 14 slm
安裝詳細信息
占地面積（不包括排氣裝置）
0.20 m2
重量
230 kg
進氣口連接
ISO 100
出氣口連接
NW25
極限噪音
<55 dB(A)
GX1000N 愛德華半導(dǎo)體干式真空泵訂購信息：
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958
