旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個殼 體 (1)、一個偏心地安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動的葉片 (3) 以及入口和 (4)。入口閥（如配置） 被設計為真空閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態(tài)。工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限 制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩 個獨立艙。當轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，氣體流入擴大的吸入室直至其被 **個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到閥沖破 大氣壓力而開啟。閥是油封的。當閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M行潤 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開來。

圖 4.2: 旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個孔向外側(cè)打開，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達到打開閥所需的壓力。這使得蒸汽開始冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達到的終壓力 高于無氣鎮(zhèn)操作所達到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務要 執(zhí)行。它潤滑移動部件，填充閥下的固定空間以及 縮小入口和之間的間隙。它壓縮葉片和工作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞佳溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內(nèi)置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現(xiàn) 相對更低的極限壓力。此外，氣鎮(zhèn)對極限壓力的影響較低， 因為氣鎮(zhèn)僅允許在高壓力級使用。

真空閥

根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空閥。 真空閥在有意或意外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進行排氣，防止油液上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓 力，它稍作延遲就打開。