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【赫哲真空】隔膜真空泵的設(shè)計及工作原理
日期：2025-04-30 14:52
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摘要：隔膜真空泵是干式正排量泵。曲軸驅(qū)動的連桿 (4) 移動在頭蓋 (2) 和殼體 (3) 之間張緊的隔膜 (1)。頭蓋和隔膜之間的空間形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口閥和閥 (6)以實現(xiàn)目標氣體排量。由彈性體材料制成的壓力控制斷流閥用作此閥。由于吸入室通過各隔膜與驅(qū)動器嚴密密封開來，泵介質(zhì)不會受到油的污染，侵蝕性介質(zhì)也不會腐蝕機械結(jié)構(gòu)。閥和吸入室之間的固定空間產(chǎn)生一個受限制的壓縮比，這意味著，只要一個抽吸階段就可實現(xiàn)約 70 hPa 的極限壓力。串聯(lián)連接的多個抽吸階段使實現(xiàn) 0.5 hPa 的極限壓力稱為可能。較低的壓力無法實現(xiàn)，因...
隔膜真空泵是干式正排量泵。曲軸驅(qū)動的連桿 (4) 移動在頭蓋 (2) 和殼體 (3) 之間張緊的隔膜 (1)。頭蓋和隔膜之間的空間形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口閥和閥 (6)以實現(xiàn)目標氣體排量。由彈性體材料制成的壓力控制斷流閥用作此閥。由于吸入室通過各隔膜與驅(qū)動器嚴密密封開來，泵介質(zhì)不會受到油的污染，侵蝕性介質(zhì)也不會腐蝕機械結(jié)構(gòu)。閥和吸入室之間的固定空間產(chǎn)生一個受限制的壓縮比，這意味著，只要一個抽吸階段就可實現(xiàn)約 70 hPa 的極限壓力。串聯(lián)連接的多個抽吸階段使實現(xiàn) 0.5 hPa 的極限壓力稱為可能。較低的壓力無法實現(xiàn)，因為在這種情況下，不再有足夠的力用于打開入口閥。隔膜泵的原理適合于大約10 m3· h-1的低抽速。
